技術(shù)編號(hào):2851532
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種準(zhǔn)分子燈,用于對(duì)被處理體實(shí)施通過(guò)照射紫外線 來(lái)進(jìn)行的清潔處理、灰化處理、成膜處理等表面處理。背景技術(shù)近年來(lái)如下技術(shù)得到開(kāi)發(fā)和實(shí)用在液晶顯示裝置的玻璃基板、 半導(dǎo)體晶片等被處理體上照射波長(zhǎng)200nm以下的紫外線即真空紫外 光,通過(guò)真空紫外光及由此生成的臭氧的作用處理被處理體,該技術(shù) 例如包括除去附著于被處理體表面的有機(jī)污染物質(zhì)的清潔處理技術(shù)或 在被處理體表面上形成氧化膜的氧化膜形成處理技術(shù)。作為照射真空紫外光的裝置,例如使用具備如下準(zhǔn)分子燈的裝...
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