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準(zhǔn)分子燈的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2851532

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本發(fā)明涉及一種準(zhǔn)分子燈,用于對(duì)被處理體實(shí)施通過(guò)照射紫外線 來(lái)進(jìn)行的清潔處理、灰化處理、成膜處理等表面處理。背景技術(shù)近年來(lái)如下技術(shù)得到開(kāi)發(fā)和實(shí)用在液晶顯示裝置的玻璃基板、 半導(dǎo)體晶片等被處理體上照射波長(zhǎng)200nm以下的紫外線即真空紫外 光,通過(guò)真空紫外光及由此生成的臭氧的作用處理被處理體,該技術(shù) 例如包括除去附著于被處理體表面的有機(jī)污染物質(zhì)的清潔處理技術(shù)或 在被處理體表面上形成氧化膜的氧化膜形成處理技術(shù)。作為照射真空紫外光的裝置,例如使用具備如下準(zhǔn)分子燈的裝...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專(zhuān)利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
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