技術(shù)編號(hào):2851836
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。一種等離子體系統(tǒng)的回饋控制方法及其系統(tǒng),該等離子體系統(tǒng)包含一個(gè)等離子體產(chǎn)生腔室、一個(gè)光傳感器、一個(gè)操作模塊,及一個(gè)控制模塊,且該控制模塊具有一個(gè)包括有多種對(duì)應(yīng)不同等離子體制程條件的等離子體標(biāo)準(zhǔn)光譜的標(biāo)準(zhǔn)光譜數(shù)據(jù)庫。借由該光傳感器對(duì)該等離子體產(chǎn)生腔室中氣體電離產(chǎn)生等離子體時(shí)所發(fā)出的光進(jìn)行檢測(cè),并將其轉(zhuǎn)換得到一個(gè)放光光譜,再將該放光光譜與該標(biāo)準(zhǔn)光譜數(shù)據(jù)庫中相對(duì)應(yīng)等離子體制程條件的等離子體標(biāo)準(zhǔn)光譜進(jìn)行比對(duì),經(jīng)由比對(duì)的結(jié)果以實(shí)時(shí)調(diào)整與控制該等離子體系統(tǒng)的制程條件與...
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