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碳火花蒸發(fā)的制作方法技術資料下載

技術編號:2851953

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本發(fā)明涉及一種用于運行脈沖斷續(xù)火花放電的方法?;鸹ㄍㄟ^電容器來饋電。在脈沖之間有斷開的時間間隔,在斷開的時間間隔期間沒有火花電流流動。在脈沖之內(nèi),即在接通的時間間隔期間在達到電流閾值時電荷輸送被停止并且重新開動,使得在脈沖之內(nèi)出現(xiàn)子脈沖。按照本發(fā)明,時間間隔和子脈沖被選擇,使得在重新接通電容器時火花放電沒有困難地重新點燃。專利說明碳火花蒸發(fā)[0001]本發(fā)明涉及一種用于陰極火花蒸發(fā)碳靶或含碳多的靶以便制造碳層或包含大量碳的層的方法。[0002]本發(fā)明尤其涉...
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