技術(shù)編號：2852499
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明描述用于在腹板上沉積沉積材料的沉積設備及方法。沉積設備包括界定第一可旋轉(zhuǎn)式濺射裝置的第一軸的第一濺射裝置支撐件、界定第二可旋轉(zhuǎn)式濺射裝置的第二軸的第二濺射裝置支撐件及涂覆窗。第一濺射裝置支撐件及第二濺射裝置支撐件經(jīng)調(diào)適成支撐第一可旋轉(zhuǎn)式濺射裝置及第二可旋轉(zhuǎn)式濺射裝置以在涂覆鼓上提供待沉積于腹板上的沉積材料的至少一組分。此外，第一軸與第二軸之間的距離小于約200mm。專利說明用于濺射沉積的微型可旋轉(zhuǎn)式濺射裝置 [0001] 本發(fā)明的實施例關(guān)于沉積...
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