技術(shù)編號(hào)：2852698
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供了一種用于等離子體處理腔室的氣體輸送裝置，所述氣體輸送裝置包括至少一氣體源，其提供制程氣體并輸送至氣體分流裝置；氣體分流裝置，其串聯(lián)于所述氣體源，將制程氣體分別按照比例分離成至少兩路輸送至至少兩路氣體通道；壓力計(jì)，其并聯(lián)于所述兩路氣路通道的其中之一；其中，在每路氣體通道上串聯(lián)一流量限制器，所述流量限制器位于所述腔室的上游，所述氣體通道連接于所述腔室的氣體噴淋頭。本發(fā)明能夠通過壓力計(jì)上的度數(shù)與標(biāo)準(zhǔn)壓力值進(jìn)行比較，從而判斷是否需要更換氣體分流裝置。本...
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