技術(shù)編號(hào)：2856689
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開了用于帶有熱控元件陣列的ESC的功率切換系統(tǒng)。具體而言，用于在等離子體處理腔室中支撐半導(dǎo)體襯底的半導(dǎo)體襯底支撐件包括加熱器陣列，其包括熱控元件，所述熱控元件可操作以調(diào)節(jié)所述半導(dǎo)體襯底上的空間溫度分布，所述熱控元件限定加熱器區(qū)域，每個(gè)所述加熱器區(qū)域由兩個(gè)以上功率供給線路和兩個(gè)以上功率返回線路供電，其中每個(gè)功率供給線路與所述加熱器區(qū)域中的至少兩個(gè)連接并且每個(gè)功率返回線路與加熱器區(qū)域中的至少兩個(gè)連接。功率分配電路與襯底支撐件的底板配合，功率分配電路與加...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。