技術(shù)編號：2857368
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供一種電子回旋離子源，其由微波系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、微波窗口、放電腔、導(dǎo)出系統(tǒng)、磁體和進(jìn)氣管組成，其特征在于，微波系統(tǒng)由微波功率源、磁控管基座、環(huán)形器、注水負(fù)載、三銷釘調(diào)諧器、定向耦合器、隔離波導(dǎo)和過渡波導(dǎo)組成，其為離子源提供微波場，磁體由多個分離的永磁環(huán)構(gòu)成，放電腔由透明的石英玻璃制成，放電腔被設(shè)置在微波屏蔽殼內(nèi)，微波屏蔽殼具有多個觀察窗口，微波窗口由一片厚度為20mm的陶瓷片和三片厚度為5mm的氮化硼構(gòu)成，微波屏蔽殼為由鋁制成的外方內(nèi)圓的結(jié)構(gòu)，其上具...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。