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一種平行光柵的制作方法技術資料下載

技術編號:2867084

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本發(fā)明公開了,利用兩種不同材料對某種刻蝕溶液的抗刻蝕程度不同,把這兩種材料通過壓制、打磨等簡單機械手段分別制作成兩類板體,不同材料制成的板體交叉排列,通過兩種板體的尺寸來控制制備光柵的周期,寬度、高度等特征參數(shù)。然后把這種交叉排列的板體綁定到一個基板上。最后,通過選擇某一刻蝕溶液去除其中一種材料的板體,而留下另一類材料的板體就會形成光柵狀結構。本發(fā)明所需設備成本低廉,工藝簡單,制備出的成品平行光柵具有尺寸精度高、表面及側面光潔度好、均勻一致性好、硬度強和側...
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  • 高老師:1.電力電子及應用 2.嵌入式系統(tǒng)應用
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