技術(shù)編號(hào)：2869064
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供了一種，所述離子源裝置包括第一腔體，所述第一腔體具有進(jìn)口，且內(nèi)部中空；放電器件，放電器件設(shè)置在所述第一腔體內(nèi)；第二腔體，所述第二腔體內(nèi)部中空，并與所述第一腔體連通；第一腔體和第二腔體的內(nèi)徑之比R1/R2大于等于1.5，且小于等于20；所述第二腔體的出口作為離子出口；所述內(nèi)徑為覆蓋腔體的垂直于軸向的截面的最小圓的直徑；所述第一腔體內(nèi)的深度d、氣體的壓強(qiáng)P的乘積d×P大于等于1m·Pa，且小于等于20m·Pa。本發(fā)明具有放電穩(wěn)定、重復(fù)性好、空間分辨率...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。