技術(shù)編號：2869472
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明公開了使用環(huán)境透射電子顯微鏡的方法以及環(huán)境透射電子顯微鏡。環(huán)境透射電子顯微鏡遭受氣體誘發(fā)的分辨率劣化。已發(fā)現(xiàn)該劣化并不是樣品上的電流密度的函數(shù)，而是電子束的總電流的函數(shù)。發(fā)明人得出結(jié)論，劣化是由于ETEM的樣品室中的氣體的電離而引起的，并且提出使用樣品室中的電場來移除電離氣體，從而減小氣體誘發(fā)的分辨率劣化。電場不需要是強場，并且能通過例如使樣品114相對于樣品室138偏置而引起。經(jīng)由電壓源144施加的100V的偏置電壓足以實現(xiàn)氣體誘發(fā)的分辨率劣化的顯...
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