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一種半導(dǎo)體晶圓目檢燈的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:2874278

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一種半導(dǎo)體晶圓目檢燈,屬專用照明裝置領(lǐng)域。其在燈殼的下端面,設(shè)置有數(shù)個LED發(fā)光器件;其中至少一個LED發(fā)光器件設(shè)置在燈殼縱向中心軸線位置上,其余LED發(fā)光器件圍繞中心點LED發(fā)光器件設(shè)置;在每個LED發(fā)光器件的位置上對應(yīng)設(shè)置一個反光杯;在半導(dǎo)體晶圓目檢工作平面上,各個圍繞式LED發(fā)光器件反光杯輸出的光斑,與中心點LED發(fā)光器件反光杯輸出的光斑重合,形成高亮度光斑;所述的燈殼、各個LED發(fā)光器件和對應(yīng)的反光杯,構(gòu)成一體式的聚光燈具。其采用LED光源作為照射...
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