技術(shù)編號：2894604
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種平版印刷系統(tǒng)，其中，對來自多個(gè)射束的各個(gè)射束的強(qiáng)度進(jìn)行確定，該系統(tǒng)包括具有傳感器的測量設(shè)備，該傳感器具有適于同時(shí)感測多個(gè)射束并且提供其聚合信號的傳感器區(qū)域。本發(fā)明還涉及一種用于根據(jù)所測量的聚合信號來計(jì)算這樣的單獨(dú)射束強(qiáng)度的方法。背景技術(shù)帶電粒子的曝光射束、光和/或其它類型的放射被用于工業(yè)，尤其是用于高度集成的和微圖案的半導(dǎo)體器件的制造中。這種半導(dǎo)體器件通常形成在半導(dǎo)體晶圓上，在其上沉積多層適當(dāng)?shù)牟牧?、對其進(jìn)行圖案化，并隨后根據(jù)預(yù)定圖案對其進(jìn)行...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。