技術(shù)編號：2896918
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種離子源，尤其涉及一種反射電極結(jié)構(gòu)件，該反射電極結(jié)構(gòu)件設(shè)置 在離子源的等離子體生成容器內(nèi)，配置成與放出電子的陰極相對，把電子向陰極一側(cè)反射。背景技術(shù)近年來，研究出一種技術(shù)，在離子源的等離子體生成容器內(nèi)，利用陰極使原料氣體 成為等離子體，通過利用該等離子體對被濺射材料進行濺射，使在離子束內(nèi)含有所希望的 離子種類。具體地說，如專利文獻(xiàn)1所示，以能夠更換的方式保持設(shè)置在反射電極前端部的 被濺射材料，以便可以生成穩(wěn)定的離子種類。其詳細(xì)的結(jié)構(gòu)包括做成筒形...
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