技術(shù)編號：2898054
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種利用光束檢測測定對象表面位移的位移檢測方法。特別是涉及，在使用記錄束為電子束制作光盤等信息記錄媒體用的母盤(Master Disc)的場合下，適用于檢測基板盤片表面位移的方法。并且還涉及適用于該位移檢測方法的位移檢測裝置、及其校正方法，和應(yīng)用該位移檢測裝置的信息記錄媒體母盤的記錄裝置。背景技術(shù) 以往，光盤的母盤的記錄是使用藍(lán)色或紫外激光作為記錄束、在涂有感光材料的基板盤片上進(jìn)行聚光和曝光而進(jìn)行的。此時，記錄束用數(shù)值孔徑例如為0.9的大的對物透...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。