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一種發(fā)射光譜診斷低氣壓等離子體炬空間分布特性的方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2903185

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本發(fā)明涉及一種具有空間高分辨能力的高靈敏發(fā)射光譜測(cè)量技術(shù),用于對(duì)等離子體炬尤其是低氣壓等離子體炬進(jìn)行診斷,可得到等離子體炬的發(fā)光強(qiáng)度、電子溫度、電子密度、分子轉(zhuǎn)動(dòng)溫度、分子振動(dòng)溫度等空間分布信息。背景技術(shù)等離子體炬技術(shù)作為工業(yè)中一種常用的方法,已經(jīng)被廣泛應(yīng)用在噴涂、切割、化學(xué)氣相沉積、有害廢料處理、等離子體與托卡馬克壁材料相互作用等領(lǐng)域中。等離子體炬的基本原理是在兩電極間形成電弧放電,兩電極間通入氣流,氣體被電離、加熱、膨脹,形成的等離子體從噴嘴噴出,產(chǎn)成...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
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