技術(shù)編號：2903483
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及電子顯微鏡，具體來說，是涉及一種給電子顯微鏡電子槍充入絕緣氣體的換氣裝置。背景技術(shù)電子顯微鏡是一種可以觀察微小物質(zhì)的重要儀器，人們利用它可以觀察0.25nm 以下的物質(zhì)。電子顯微鏡以電子束作為照明光源，以磁透鏡或靜電透鏡作為偏轉(zhuǎn)電子的裝置，實現(xiàn)光學(xué)放大。電子顯微鏡在物理、化學(xué)、材料、科學(xué)研究、生命科學(xué)、地質(zhì)、探礦、機(jī)械工業(yè)、電子工業(yè)等軍民領(lǐng)域具有非常廣泛的應(yīng)用前景。電子槍是產(chǎn)生電子束的裝置，為了防止電子擊穿，需向電子槍內(nèi)充絕緣氣體。對此，采用一套...
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