技術(shù)編號：2905010
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制造裝備離子注入機的離子束流檢測裝置，屬于半導(dǎo)體器件制造領(lǐng)域。背景技術(shù)隨著半導(dǎo)體集成電路制造エ藝越來越微細化，對半導(dǎo)體制造設(shè)備的性能要求也就越來越高。離子束注入機是半導(dǎo)體器件制造中最關(guān)鍵的攙雜設(shè)備之一，當器件制造エ藝邁入特征尺寸90nm以下，晶圓片尺寸300mm時代，為了保證整個晶圓片上器件性能的一致性，必須對離子注入攙雜エ藝中對整個晶圓片維持攙雜分布的均勻性有更高的要求。因此，實時并精確檢測離子注入束斑的形狀和均勻性分布變得更加重要。...
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