技術(shù)編號：2907843
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種用于制造薄膜太陽能電池透明導(dǎo)電膜的設(shè)備及方法，尤其是用于沉積非晶硅薄膜太陽能電池透明導(dǎo)電膜的制造設(shè)備和工藝，屬于太陽能薄膜電池。背景技術(shù)薄膜太陽能電池的前電極和背電極的加工制造過程均需要鍍制TCO膜層，TCO膜層為透明導(dǎo)電膜，其作用是作為導(dǎo)電電極使用，同時(shí)可以使光線透過，其主要指標(biāo)為透過率和電導(dǎo)率，TCO膜層的透過率越高，光線進(jìn)入電池越多，電池的短路電流和開路電壓越大，即提高TCO膜層的電導(dǎo)率，能減少TCO膜層的缺陷，降低電池內(nèi)的串聯(lián)電阻，提...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。