技術(shù)編號(hào)：2910375
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種與離子束注入機(jī)的注入腔相連的可調(diào)注入角的工件支撐組件或結(jié)構(gòu)，更具體地涉及這樣一種工件支撐組件或結(jié)構(gòu)，其可為工件提供相對(duì)于離子束的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)和直線運(yùn)動(dòng)，使得可以選擇工件的注入角，并使工件在所選注入角下沿著直線路徑移動(dòng)，其中在工件的移動(dòng)過程中，從離子束進(jìn)入注入腔的入口到離子束與工件注入面的相交處的距離保持恒定。 背景技術(shù) 離子束注入機(jī)廣泛地應(yīng)用于半導(dǎo)體晶片的摻雜工藝中。離子束注入機(jī)產(chǎn)生由帶正電荷離子的所需物質(zhì)所組成的離子束。離子束撞擊在工件如半導(dǎo)體...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。