技術(shù)編號(hào)：2914120
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及在同時(shí)使負(fù)載電阻匹配商業(yè)通用的高頻發(fā)生器的內(nèi)電阻的情況下、在下面也叫做高頻匹配網(wǎng)絡(luò)、把高頻電交變場(chǎng)饋入低壓氣體放電中的裝置、在下面也稱作等離子體。高頻激發(fā)等離子體，其目前在許多的到應(yīng)用，特別是在固體表面處理中。如此高頻等離子體用于薄層的依賴等離子體的離析或表面的凈化和腐蝕。在高頻等離子體工作時(shí)必須應(yīng)用阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)，以便使負(fù)載阻抗調(diào)整到所應(yīng)用的高頻發(fā)生器的內(nèi)電阻。如果負(fù)載阻抗與發(fā)生器的內(nèi)電阻一致，則發(fā)生器的功率能夠最佳傳輸?shù)截?fù)載。通常在負(fù)載和發(fā)生器...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。