技術(shù)編號(hào)：2936569
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及短弧型水銀燈，尤其涉及發(fā)光部由主發(fā)光空間部和根基空間部構(gòu)成的短弧型水銀燈。背景技術(shù) 在半導(dǎo)體及液晶的曝光等領(lǐng)域，作為光源利用了采用短弧型水銀燈的曝光技術(shù)。在半導(dǎo)體的曝光中，由于色像差等原因，適用于高效放射波長365nm(i線)的光，而在液晶及印刷基板的曝光中適用于放射波長300nm～450nm的光。因此，使用水銀作為封入燈內(nèi)的發(fā)光物質(zhì)，并且作為起動(dòng)用氣體，也封入氬、氙等稀有氣體。另外，從曝光裝置來看，對(duì)被照射物的曝光面積逐漸變大，此外，處理時(shí)間(...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。