技術編號：2946721
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種當利用在聚焦離子束(FIB)系統(tǒng)中的電感耦合等離子體(ICP)時使得能夠在不同處理氣體之間快速切換的方法和結構。背景技術聚焦離子束系統(tǒng)被用于集成電路制造和納米技術的各種應用中，以形成并更改微米級和納米級結構。聚焦離子束能夠利用各種源來產(chǎn)生離子。液態(tài)金屬離子源能夠提供高分辨率(g卩，小光斑尺寸(small spot size))，但是通常產(chǎn)生低電流并且在可用離子類型方面受限。不同離子種類具有不同特征，這使得對于具體應用而言一些離子種類與其他離子...
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