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放電燈的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:2949607

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本發(fā)明涉及低壓汞燈和準(zhǔn)分子燈等放電燈,尤其涉及用作工業(yè)用紫外線光源的球狀放電部的電介質(zhì)阻擋放電燈或電容耦合型高頻放電燈。背景技術(shù)—直以來,將在直管狀的放電容器的兩端具有電極的低壓放電燈和雙重管構(gòu)造的準(zhǔn)分子燈作為工業(yè)用的紫外線燈,經(jīng)常用于紫外線清洗、固化、圖案曝光等。封入有氙(Xe)氣的準(zhǔn)分子燈經(jīng)常用于液晶面板用基板的干燥清洗。這些燈都是放光部在軸方向上呈長管狀。與燈平行地放置被照射對象物,在與燈軸垂直的方向上照射紫外光,同時(shí)對被照射對象物的細(xì)長區(qū)域進(jìn)行照射...
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