技術(shù)編號(hào):2959177
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及輻照,尤其涉及用于產(chǎn)生電磁輻射的方法與裝置。背景技術(shù) 弧光燈已經(jīng)用于為多種目的產(chǎn)生電磁輻射。通常,弧光燈包括用于產(chǎn)生連續(xù)輻照的連續(xù)或直流弧光燈及用于產(chǎn)生輻照閃光的閃光燈。連續(xù)或直流弧光燈已經(jīng)用于從日光模擬到半導(dǎo)體晶片快速熱處理的應(yīng)用。典型的傳統(tǒng)直流弧光燈包括安裝在充有諸如氙或氬的惰性氣體的石英封套(quartz envelope)中的兩個(gè)電極,即,陰極和陽(yáng)極。有一電功率供給用于維持電極之間的連續(xù)等離子體弧。在等離子體弧中,等離子體通過(guò)粒子碰撞由高...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。