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高度集成化柵極結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:2967507

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本實(shí)用新型屬于微電子科學(xué)技術(shù)、真空科學(xué)技術(shù)、平面顯示技術(shù)以及納米科學(xué)技術(shù)的相互交叉,涉及一種高度集成化柵極結(jié)構(gòu)、碳納米管陰極、三極結(jié)構(gòu)的高度集成化柵極結(jié)構(gòu)的平板顯示器。背景技術(shù)對于利用碳納米管作為陰極材料的場致發(fā)射平面顯示器件來說,為了能夠最大程度的降低生產(chǎn)成本,降低整體器件的工作電壓,以便于和常規(guī)的IC電路相結(jié)合,制作三極結(jié)構(gòu)的場致發(fā)射平面顯示器件是一個(gè)必然的選擇。在三極結(jié)構(gòu)的碳納米管陰極場致發(fā)射顯示器件中,柵極結(jié)構(gòu)對于碳納米管陰極的電子發(fā)射起著必要的控...
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