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用于電漿表面處理的高密度電極裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2972562

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本實(shí)用新型涉及一種電極裝置,特別是涉及一種用于電漿表面處理的高密度電極裝置O背景技術(shù)在半導(dǎo)體制程中容易因運(yùn)送過程或工作環(huán)境等因素影響,而在基板上附著污染 物,恐會(huì)對后續(xù)鍍膜或封裝產(chǎn)生不良影響,中國臺(tái)灣專利第1298235號(hào)專利所公開的一種 「RF射頻電漿表面處理之電極板」,通過電漿表面處理將污染物吸附清潔以提高產(chǎn)品良率, 其中,腔體接地作為陽極,電極板連接RF射頻作為陰極,而待清潔物放置于電極板前方,當(dāng) 電極板與腔體間電壓足夠時(shí)可以裂解腔體內(nèi)的氣體而產(chǎn)生電...
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