技術(shù)編號(hào):2980101
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于等離子體加工設(shè)備領(lǐng)域,涉及一種掃描裝置以及含有該掃描裝置的等離子體加工設(shè)備。背景技術(shù)等離子體加工設(shè)備主要包括傳輸腔室和工藝腔室,其中,傳輸腔室用于傳輸晶片, 工藝腔室用于對(duì)晶片進(jìn)行工藝處理。為了提高等離子體加工設(shè)備的產(chǎn)能,將放置晶片的多個(gè)托盤放置在托盤盒內(nèi),并在等離子體加工設(shè)備增設(shè)裝卸載腔室,從而對(duì)晶片進(jìn)行批量生產(chǎn),同時(shí)減少由環(huán)境壓力向傳輸腔室壓力切換的時(shí)間。圖1為設(shè)置有托盤盒的裝卸載腔室的結(jié)構(gòu)示意圖,圖2為裝卸載腔室去掉裝卸載腔室的頂部以及托盤...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。