技術(shù)編號：2998637
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明的金屬微細(xì)群柱結(jié)構(gòu)電解反拷加工方法及專用工具，屬高深寬比金屬 微結(jié)構(gòu)制造工藝方法及裝置。背景技術(shù)微細(xì)陣列群孔作為一種典型的微細(xì)結(jié)構(gòu)，在航空航天、精密儀器、化纖等領(lǐng) 域有著廣泛的應(yīng)用，如高速打印機(jī)噴嘴板、光纖連接器、化纖噴絲板、微過濾網(wǎng) 以及電子顯微鏡光柵等。微細(xì)電加工相對于常規(guī)鉆削加工具有無機(jī)械切削力作 用，加工精度和加工效率高等優(yōu)點(diǎn)，因此其在微細(xì)群孔結(jié)構(gòu)的加工方面具有廣泛 的應(yīng)用前景。其中，工具電極的制作是微細(xì)電加工中一個重要的環(huán)節(jié)。目前，微 細(xì)電...
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