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技術(shù)編號：3002699

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背景技術(shù)發(fā)明領(lǐng)域本發(fā)明涉及一種在襯底上形成具有更精確形狀但形狀畸變小的燒蝕特征物的方法和設(shè)備，尤其適用于聚合物襯底。相關(guān)技術(shù)的描述用掩模和成像透鏡系統(tǒng)在聚合物材料上形成激光器燒蝕特征物是眾所周知的。在此工藝中，用激光照射掩模上的特征物。然后，將透過掩模上透明圖案的激光成像到諸如聚合物薄膜等襯底上，在襯底上發(fā)生燒蝕過程。附圖說明圖1示出了傳統(tǒng)準(zhǔn)分子激光器加工系統(tǒng)的基本布局。一般地說，計算機通過與系統(tǒng)操作人員聯(lián)系的接口控制系統(tǒng)。計算機控制啟動脈沖激光器系統(tǒng)和伺...
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