技術(shù)編號：3007790
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及在半導(dǎo)體裝置、印刷基板、液晶顯示元件等的曝光裝置等 中，移動工作臺，將工作臺上的對象定位于規(guī)定的位置，且在長行程上移動工作臺的可實(shí)現(xiàn)y方向平移和θ旋轉(zhuǎn)的平移旋轉(zhuǎn)二自由度載物臺裝置， 或者在該平移旋轉(zhuǎn)二自由度載物臺裝置上加裝了x方向平移驅(qū)動機(jī)構(gòu)的三自由度載物臺裝置。背景技術(shù)現(xiàn)有的第1例的載物臺裝置包括可移動地軸支承具有可動工作臺的載物臺的一端部和另一端部的可動支承機(jī)構(gòu)；及控制可動工作臺和可動支承機(jī)構(gòu)的位置控制部，其不僅在直線方向上，即使在旋轉(zhuǎn)方向上...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。