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技術(shù)編號(hào)：3009502

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本發(fā)明涉及一種修補(bǔ)裝置，尤其是指一種利用具有流體冷卻 以避免裝置的構(gòu)成組件以及修補(bǔ)材料受到熱影響而遭受破壞以 及氧化之一種缺陷修補(bǔ)裝置。背景技術(shù)平面顯示器(Flat Panel Display, FPD)已是國(guó)內(nèi)最重要的 產(chǎn)業(yè)之一，隨著大尺寸液晶顯示器面板的發(fā)展量產(chǎn)到七代廠，面 板尺寸的大型化及產(chǎn)能需求不斷提高的趨勢(shì)及市場(chǎng)需求下，使得 現(xiàn)有的修補(bǔ)制程面臨極大的瓶頸。如圖l所示，平面顯示器的前 段制程主要為利用光阻蝕刻技術(shù)進(jìn)行線路圖案成型，而在此制程 中因污...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。

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