技術(shù)編號：3011694
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型涉及一種光學(xué)系統(tǒng)，尤其涉及激光精密加工的勻光系統(tǒng)， 屬于激光精密加工制造。背景技術(shù)ITO薄膜是在鈉鈣基或硅硼基基片玻璃的表面，利用磁控濺射的方法 鍍上一層氧化銦錫膜加工制成的。ITO具有低電阻率、高可見光率和高紅 外光反射率等優(yōu)良特性，作為陽極材料已經(jīng)被廣泛應(yīng)用于液晶平板顯示產(chǎn) 品中。-般對于ITO薄膜材料的劃線，要求劃槽形狀為200um寬20um深的矩形。目前，對于ITO薄膜材料的劃線通常采用化學(xué)腐蝕的方法實現(xiàn)，但該 方法加工工序復(fù)雜、效率低，...
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