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技術(shù)編號(hào)：3033005

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本發(fā)明涉及電子元件，尤其涉及一種金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)晶 體管及其鍵合方法。背景技術(shù)場效應(yīng)管(Field Effect Transistor)是一種利用電場效應(yīng)來控制電流大小的 半導(dǎo)體器件。場效應(yīng)管體積小、重量輕、耗電省、壽命長，并具有輸入阻抗高、 噪聲低、熱穩(wěn)定性好、抗輻射能力強(qiáng)和制造工藝簡單等優(yōu)點(diǎn)，因而應(yīng)用范圍廣。在場效應(yīng)管的加工制造過程中，鍵合是一道重要的工藝工序，它是將芯片 上的焊點(diǎn)(PAD)與引線框架(LEADFRAME)進(jìn)行導(dǎo)通連接。傳統(tǒng)上，通...
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