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芯片封裝裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:3041715

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本發(fā)明涉及利用AuSn,AuGe,AuSb等焊料作為結(jié)合劑使半導(dǎo)體芯片固定在芯片插座或引線框架等封裝件上的芯片封裝裝置。過去,在半導(dǎo)體器件如微波半導(dǎo)體器件等電性能易受溫度影響的情況下,往往使用AuSn,AuGe,AuSb等導(dǎo)熱性好的焊料進行半導(dǎo)體器件的封裝。然而,在使用這些結(jié)合劑封裝芯片時,大氣中的氧氣會使熔融的結(jié)合劑的表面形成氧化膜,氧化膜和半導(dǎo)體芯片的界面會產(chǎn)生微孔洞,不能得到充分的結(jié)合強度。通常,在這種情況下使用氣氛氣體,即在惰性氣體中結(jié)合以免發(fā)生氧...
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