技術編號：3047598
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及Al合金濺射靶及其制造方法。具體地說，本發(fā)明涉及具有機械強度和 織構的所需組合的整體式Al合金濺射靶及這些靶的制造方法。背景技術高純度鋁合金濺射靶已經被廣泛地用于半導體制造。為了獲得所需的晶粒尺寸 和織構，鋁合金靶坯料典型地通過機械加工和最后的重結晶退火制造。由于重結晶退火顯 著降低了鋁合金的機械強度，如此制造的鋁合金坯料通常與市售的堅固得多的鋁合金背板 結合。然而，由于整體式鋁合金靶易于制造、沒有剝離問題、以及改善的再循環(huán)能力，因而， 其有時是...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術人員進行技術研發(fā)參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。