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技術(shù)編號：3047729

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本發(fā)明揭示有關(guān)于激光微加工(laser micromachining)。特別是關(guān)于使用超快激光脈沖的突發(fā)(burst)的激光系統(tǒng)及方法。背景技術(shù)在半導(dǎo)體存儲器陣列晶片制造完成之后，晶片曝光表面上的集成電路(IC)圖案是以一鈍化材料(passivating material)的電性絕緣層密封。典型的鈍化材料包括合成樹脂(resin)或者諸如聚亞酰胺(polyimide)的熱塑性塑膠聚合物(thermoplastic polymer) 0此最后"鈍化(pass...
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