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配置為使用電磁輻射從基板移除涂層的系統(tǒng)的制作方法技術資料下載

技術編號:3077075

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一種移除系統(tǒng)被配置為從組件的基板移除涂層。第一能量源和第二能量源每個都被配置為將電磁輻射引導到組件上,電磁輻射產(chǎn)生相應的第一特性和第二特性。傳感器檢測由第一電磁輻射流和第二電磁輻射流產(chǎn)生的第一特性和第二特性??刂破鞅辉O置為從傳感器接收檢測到的第一特性和第二特性,以及從相應的第一能量源和第二能量源接收相關的第一功率水平和第二功率水平。響應于從傳感器接收的第一特性和第二特性以及從第一能量源和第二能量源接收的相關的功率水平,控制器將更新的功率水平發(fā)送到第一能量源...
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