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技術(shù)編號(hào)：3110898

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本實(shí)用新型公開(kāi)了一種三方位聯(lián)動(dòng)式激光刻蝕平臺(tái)，包括X軸傳送單元和Y軸傳送單元，所述X軸傳送單元沿垂直方向設(shè)置，所述Y軸傳送單元沿水平方向設(shè)置，其中，所述X軸傳送單元上安裝有Z軸傳送單元，所述X軸傳送單元上設(shè)有第一光柵尺和第一光電限位開(kāi)關(guān)，所述Y軸傳送單元上設(shè)有第二光柵尺和第二光電限位開(kāi)關(guān)，所述Z軸傳送單元上設(shè)有第三光電限位開(kāi)關(guān)，所述X軸傳送單元、Y軸傳送單元和Z軸傳送單元均與伺服電機(jī)相連。本實(shí)用新型提供的三方位聯(lián)動(dòng)式激光刻蝕平臺(tái)，能夠大大降低制作成本，易于...
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