技術(shù)編號：3112230
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開一種。一種掩模制造裝置，其包括激光照射器、平臺、框架和散熱片。激光照射器將激光束分為多道子激光束并將子激光束照射到被放置在平臺上的陰影掩模?？蚣茉O(shè)置在平臺上來支撐陰影掩模。散熱片接觸陰影掩模材料，吸收從陰影掩模產(chǎn)生的熱并將該熱排出到陰影掩模的周圍。因此，避免了陰影掩模過熱。專利說明[0001]本申請要求于2013年2月I日提交的第10-2013-0011956號韓國專利申請的優(yōu)先權(quán)，所述韓國專利申請的內(nèi)容通過引用被全部包含于此。[0002]本公開...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。