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一種基于特征人工節(jié)瘤缺陷的激光預(yù)處理技術(shù)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):3112670

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本發(fā)明涉及一種基于特征人工節(jié)瘤缺陷的高反射薄膜激光預(yù)處理技術(shù),包括利用SiO2顆粒或金屬顆粒制備出包含不同特征人工節(jié)瘤缺陷的高反射薄膜被測(cè)樣品;分別測(cè)量獲得同種類型人工節(jié)瘤缺陷在未進(jìn)行激光預(yù)處理和進(jìn)行激光預(yù)處理后的損傷閾值,依據(jù)損傷閾值提升的幅度優(yōu)化激光預(yù)處理工序中的初始能量梯度、能量遞增梯度和最大能量梯度;在獲得單一缺陷最優(yōu)激光預(yù)處理工藝的基礎(chǔ)上,進(jìn)一步研究其它類型缺陷的最優(yōu)工藝;最終可以根據(jù)實(shí)際樣品中缺陷的類型和尺寸,選擇最優(yōu)的激光預(yù)處理工藝,實(shí)現(xiàn)實(shí)際...
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