技術(shù)編號：3128505
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明提出一種異構(gòu)電機共定子多驅(qū)動宏微一體化高速精密運動二維平臺，包括X/Y向基座、X/Y向?qū)к?、滑塊、U型直線電機、平板電機、U型直線電機定子、宏動動子、微動動子和宏微一體化平臺。所述宏動平臺與所述微動平臺通過彈性構(gòu)件聯(lián)接形成一體化平臺，安裝在X向基座的定子為宏動平臺的動子與控制微動平臺X向微運動的動子共用，Y向通過壓電陶瓷或解耦音圈電機進行精密位移補償，當宏微動子同時驅(qū)動時，可實現(xiàn)整體大范圍的高速運動；當出現(xiàn)運動偏差時，微動平臺由于慣量小、無摩擦、通過...
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