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技術(shù)編號(hào)：3171094

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本發(fā)明屬于激光精密加工設(shè)備，特別是一種雙工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)激光加工機(jī)及 其加工方法。背景技術(shù)近幾年來(lái)，半導(dǎo)體工業(yè)中高密度封裝/組裝和高密度互連(HDI)技術(shù)獲得了飛速 發(fā)展。作為一種高性能HDI解決方案，LTCC(Low TemperatureCo-fired Ceramics，低溫共 燒陶瓷)封裝技術(shù)為單芯片或多芯片模塊(MCM)封裝提供了高密度集成和高可靠性，已被 廣泛應(yīng)用于光電通信器件、MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))器件、生物醫(yī)學(xué)芯片、汽車電子、微波電路、 軍用T/...
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