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導軌支承裝置、導軌裝置、驅動裝置以及測量機的制作方法技術資料下載

技術編號:3212550

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本發(fā)明涉及一種導軌支承裝置、導軌裝置、驅動裝置以及測量機。背景技術 作為導向裝置具有導軌的驅動裝置,公知的有由該驅動裝置使測量觸頭在三坐標上進行移動來測量被測量物形狀的測量機(例如參見日本特公平3-45321號公報)。圖8表示作為測量機的一個例子的三座標測量機。三座標測量機1的構成包括與被測量物W接觸來檢測被測量物表面的測量觸頭2、具有放置被測量物W的臺面31的平臺3、直立設置在平臺3上用于使測量觸頭2進行3坐標移動的驅動機構(驅動裝置)4、檢測驅動機構4...
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