技術(shù)編號：3248991
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及在包括發(fā)光層的有機層上進行成膜的成膜裝置、和具 有包括發(fā)光層的有機層的發(fā)光元件的制造方法。背景技術(shù)近年來，替代在現(xiàn)有技術(shù)中使用的CRT (Cathode Ray Tube陰極射線管)，能夠形成為薄型的平面型顯示裝置的應(yīng)用不斷進展，例如有 機場致發(fā)光元件(有機EL元件)具有自發(fā)光、高速響應(yīng)等特征，因此 作為新一代的顯示裝置被關(guān)注。另外，有機EL元件除了使用于顯示裝 置以外，也有用作面發(fā)光元件的情況。有機EL元件構(gòu)成為在陽電極(正電極)和陰電極(負電...
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