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包括粗粒度和細(xì)粒度樹脂粘結(jié)部的磨床磨桿的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:3249406

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本發(fā)明涉及磨床和用于這種機(jī)床的磨輪,所述磨輪用來在諸如構(gòu)成半導(dǎo)體裝置的硅晶片之類的圓片邊緣上磨削切口,還涉及用來磨削這種圓片邊緣區(qū)域以便在其中形成切口的方法。由于切口對于晶片尺寸而言具有相對的較小的尺寸,用來形成這種切口的磨輪通常被稱作磨桿。背景技術(shù) 在WO97/48522中披露一種用來磨削圓片的磨床,現(xiàn)結(jié)合于此作為參考。WO97/48522披露在用一種較軟的樹脂粘結(jié)硬質(zhì)合金(CBN)輪來精磨一諸如半導(dǎo)體晶片之類的圓片邊緣之前,先在一磨床上使用一金屬粘結(jié)C...
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