技術(shù)編號(hào):3249539
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及在對(duì)透鏡、反射鏡等光學(xué)材料和硅晶片、硬盤(pán)用的玻 璃襯底、鋁襯底等的表面進(jìn)行拋光時(shí)使用的拋光墊(粗拋光用或精拋 光用)以及其制造方法。本發(fā)明的拋光墊特別適合用作精加工用拋光 墊。背景技術(shù)通常,硅晶片等半導(dǎo)體晶片、透鏡以及玻璃襯底等的鏡面拋光中 具有主要為了調(diào)節(jié)平坦度及面內(nèi)均勻度的粗拋光、和主要為了改善 表面粗糙度及除去劃痕的精拋光。上述精拋光,通常在能旋轉(zhuǎn)的平臺(tái)上粘貼由軟質(zhì)的發(fā)泡聚氨酯形 成的絨面革制的人工皮革,在其上供給堿性水溶液中含有膠體二氧化...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專(zhuān)利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。