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拋光墊的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):3249539

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本發(fā)明涉及在對(duì)透鏡、反射鏡等光學(xué)材料和硅晶片、硬盤(pán)用的玻 璃襯底、鋁襯底等的表面進(jìn)行拋光時(shí)使用的拋光墊(粗拋光用或精拋 光用)以及其制造方法。本發(fā)明的拋光墊特別適合用作精加工用拋光 墊。背景技術(shù)通常,硅晶片等半導(dǎo)體晶片、透鏡以及玻璃襯底等的鏡面拋光中 具有主要為了調(diào)節(jié)平坦度及面內(nèi)均勻度的粗拋光、和主要為了改善 表面粗糙度及除去劃痕的精拋光。上述精拋光,通常在能旋轉(zhuǎn)的平臺(tái)上粘貼由軟質(zhì)的發(fā)泡聚氨酯形 成的絨面革制的人工皮革,在其上供給堿性水溶液中含有膠體二氧化...
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