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具有多層輻射式蒸發(fā)源分布結(jié)構(gòu)的多源真空蒸鍍裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:3250524

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本發(fā)明屬于有機光電薄膜應(yīng)用領(lǐng)域,具體為真空蒸鍍條件下制備有機光電薄膜 時,真空蒸鍍系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)設(shè)計。背景技術(shù)近年來,有機光電化合物由于其種類多樣、性能易于通過結(jié)構(gòu)設(shè)計來調(diào)制、制 備合成工藝簡單和可用于柔性電子器件等特點,而受到廣泛的關(guān)注。在應(yīng)用方面, 有機光電材料是有機薄膜器件的基礎(chǔ),有機薄膜場效應(yīng)晶體管(OFET)、有機電致發(fā) 光器件(0LED)、有機薄膜太陽能電池(OPV)、有機薄膜傳感器、有機激光器等的器 件構(gòu)造都離不開有機薄膜的制備。在真空室內(nèi),通電...
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