技術編號：3251500
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及蝕刻劑，尤其涉及用于包括鉬/銅/氮化鉬的多層互連線的蝕刻劑、使用該蝕刻劑制造鉬/銅/氮化鉬多層互連線的方法、以及使用該蝕刻劑制造薄膜晶體管(TFT)基板的方法。背景技術 作為廣泛應用的平板顯示器之一的液晶顯示器(“LCD”)包括具有多個電極的兩個基板以及夾置在兩個基板之間的液晶層。施加到電極的電壓重新排列液晶分子，從而調節(jié)入射光的發(fā)射量。特別地，多個像素電極以矩陣形式排列在兩個基板中的一個上，并且共電極覆蓋另一基板的整個表面。通過將單個電壓施加在...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術人員進行技術研發(fā)參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。