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技術(shù)編號：3251810

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本發(fā)明專利涉及一種摻雜多種元素的高性能類金剛石(DLC)膜的制備技術(shù)，屬于 DLC膜材料的復(fù)合制備技術(shù)。背景技術(shù)類金剛石膜具有高硬度、高彈性模量、優(yōu)異的摩擦磨損性能、化學(xué)穩(wěn)定性及生物相 容性，具有非常廣泛的應(yīng)用前景。但內(nèi)應(yīng)力大、膜/基結(jié)合力差、熱穩(wěn)定性差、脆性大等限制 了 DLC膜在苛刻服役條件下的應(yīng)用。 采用優(yōu)化的梯度過渡層可緩解DLC膜的內(nèi)應(yīng)力和提高DLC膜的膜/基結(jié)合力；通 過摻雜金屬元素形成以非晶碳膜為基體的復(fù)相結(jié)構(gòu)會改善DLC膜的綜合性能，但摻雜...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。

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