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用于在基底上氣相沉積的設(shè)備的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:3251985

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本發(fā)明涉及一種根據(jù)權(quán)利要求1的前序部分所述的、用于在基底上氣相沉積的設(shè)備。背景技術(shù) 通常在真空條件下使合成膜具有金屬層,例如以便于使合成膜不能透過氣體、或者使其導(dǎo)電。如果并非所有區(qū)域、而是只是某些印跡線做成導(dǎo)電的,則使不會接收到金屬層的那些區(qū)域具有若干油膜條帶。由于這些油膜,金屬無法附著在疊層上。借助于油蒸發(fā)器涂敷這些油膜條帶。用于以在真空條件下涂布膜印跡線的方式生產(chǎn)不含金屬的條帶、尤其是用于生產(chǎn)電容的設(shè)備是已知的,在該設(shè)備中設(shè)有裝油的容器,該設(shè)備具有至少...
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